parylene的發(fā)展史

parylene的歷史要追溯到1947年，Parylene(中文稱(chēng):派瑞林、聚對(duì)二甲苯，或派瑞林堤對(duì)一系列獨(dú)  特的高聚物的一個(gè)通常的稱(chēng)呼。這個(gè)家庭中基本的成員稱(chēng)作Parylene,即聚對(duì)二甲苯，是一種完全線性的高度結(jié)晶結(jié)構(gòu)的材料

美國(guó)化學(xué)家Michael Szwarc首  次在實(shí)驗(yàn)室合成了parylene薄膜，18年后的1965年科學(xué)家William F. Gorham發(fā)明了化學(xué)氣相沉積合成parylene膜的方法，并通過(guò)商業(yè)化parylene沉積設(shè)備使parylene膜獲得了實(shí)用價(jià)值，從此Parylene開(kāi)始蓬勃發(fā)展起來(lái)。

Parylene的原理是用獨(dú)  特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面"生長(zhǎng)"出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號(hào)稱(chēng)"無(wú)孔不入"可深入裂縫里和內(nèi)表面。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無(wú)針孔、透明無(wú)應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，甚至被業(yè)內(nèi)稱(chēng)為當(dāng)今世界較頂級(jí)的防潮、防霉（零級(jí)）、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂層，聚對(duì)二甲苯，或派瑞林堤對(duì)一系列獨(dú)  特的高聚物的一個(gè)通常的稱(chēng)呼。這個(gè)家庭中基本的成員稱(chēng)作Parylene,即聚對(duì)二甲苯，是一種完全線性的高度結(jié)晶結(jié)構(gòu)的材料。

1998年中科院光機(jī)所在西安進(jìn)口了中國(guó)di 一臺(tái)parylene涂敷機(jī)，開(kāi)始了對(duì)Parylene這項(xiàng)新興技術(shù)的研究發(fā)展，2001年，2006年蘇州凱瑞的前身拉奇公司在江蘇吳江成立專(zhuān)業(yè)的parylene涂覆公司，隨著技術(shù)的交流和發(fā)展，中國(guó)的parylene技術(shù)日新月異的蓬勃發(fā)展。